功率放大器等離子領(lǐng)域應(yīng)用-等離子清洗的基本原理是什么？
等離子技術(shù)是利用等離子體獲得高溫?zé)嵩吹囊豁?xiàng)技術(shù)。在化學(xué)工業(yè)中，利用等離子技術(shù)能實(shí)現(xiàn)一系列的反應(yīng)過(guò)程。而等離子清洗作為一種材料表面處理的高科技設(shè)備，目前被廣泛應(yīng)用于材料表面清洗、活化、涂層、刻蝕等方面，可以幫助工程師更高效的完成工作內(nèi)容。
那么等離子清洗的具體原理是什么呢？功率放大器在此領(lǐng)域是如何應(yīng)用的？
密閉的反應(yīng)腔體（真空室、真空腔體）被真空泵不斷抽氣，從1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下降到設(shè)定的壓力值并維持真空度；通入氬、氫、氮?dú)獾裙に嚉怏w，啟動(dòng)等離子發(fā)生器，讓反應(yīng)腔體內(nèi)電極之間產(chǎn)生高壓交變電場(chǎng)，使得自由電子能量加速，去激發(fā)工藝氣體分子形成等離子體，具有高反應(yīng)活性或高能量的等離子體，會(huì)與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)、碰撞形成各種揮發(fā)性物質(zhì)，這些揮發(fā)性物質(zhì)伴隨工藝氣流由真空泵抽取出去，從而達(dá)到被處理對(duì)象表面清潔、活化等目的。
等離子清洗是利用等離子將附著在基板表面的油等有機(jī)物分解、汽化的清洗技術(shù)。除了是一種不使用水或清潔溶液的干燥清潔方法外，它還提供高水平的清潔，不會(huì)留下任何殘留物。
等離子清洗還可以通過(guò)破壞分子鍵并用羥基修飾來(lái)使被處理物體表面親水。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，它還用于為圖案化的 PDMS（二甲基聚硅氧烷）表面增加親水性，以提高圖案附著力。
等離子清洗的具體優(yōu)勢(shì)
等離子清洗技術(shù)具有很多優(yōu)勢(shì)，首先它十分環(huán)保，此技術(shù)利用氣固相干式反應(yīng)，無(wú)化學(xué)添加，不消耗水資源；其次，它應(yīng)用范圍廣，無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物還是高分子材料都可以進(jìn)行處理；同時(shí)它功能強(qiáng)大，可以在處理材料時(shí)保留其自身特性并賦予新功能；最后的最后它成本低廉且全過(guò)程可控，可以幫助企業(yè)更好進(jìn)行清洗加工工作。
針對(duì)等離子清洗相關(guān)的驅(qū)動(dòng)問(wèn)題，Aigtek安泰電子特提供了信號(hào)發(fā)生器（ATG-2000系列功率信號(hào)源）+高壓放大器（ATA-7025）的測(cè)試方案。
高壓放大器和信號(hào)發(fā)生器都需要具有高性能和高品質(zhì)的輸出波形：一方面是良好的穩(wěn)定性能，輸出波形失真小，并且信號(hào)發(fā)生器還需要能產(chǎn)生多種波形信號(hào)；另一方面是良好的動(dòng)態(tài)性能，調(diào)幅調(diào)頻方便，負(fù)載適應(yīng)性好，此外有些測(cè)試除了需要信號(hào)發(fā)生器提供輸出電壓外，還需要功率輸出。
ATA-7025高壓放大器是Aigtek公司生產(chǎn)交直流高壓電源產(chǎn)品，電壓可達(dá)5kVp-p（±2.5kVp），，同時(shí)具有過(guò)流、過(guò)溫保護(hù)功能。適用于驅(qū)動(dòng)高壓型負(fù)載，可放大交、直流信號(hào)，輸出電流30mA，電壓增益數(shù)控0~1000倍可調(diào)，結(jié)合液晶面板增益的顯示，能夠快速調(diào)整至需要的電壓值，一鍵保存常用設(shè)置，可與任意品牌信號(hào)發(fā)生器配套使用，實(shí)現(xiàn)任意波形信號(hào)的完美放大。
1/1000Monitor：此端口電壓為輸出端口的1/1000，監(jiān)測(cè)口為BNC接頭，可以直接連接到示波器進(jìn)行輸出電壓的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。
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